MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,就應(yīng)用到鉑金絲/金絲焊接單晶硅精密點焊工藝,
在以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。
而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律,通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成,通過微硅質(zhì)量塊的偏移實現(xiàn)對加速度的檢測,主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,除了有電容式、壓阻式以外,MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中,電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點,是MEMS微加速度計中的主流產(chǎn)品。其中貴金屬絲線(鉑金絲/金絲焊接)尤為重要。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統(tǒng),主要有振動式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用很多的屬于振動陀螺儀,它利用單晶硅或多晶硅的振動質(zhì)量塊在被基座帶動旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度。在其芯片鉑金絲/金絲焊接有為重要,例如汽車在轉(zhuǎn)彎時,系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動是否到位,主動在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿右苑乐蛊嚸撾x車道,通常,它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。
中國在?MEMS?傳感器領(lǐng)域鉑金絲焊接的研究較晚,但已經(jīng)成為不可或缺的力量,在創(chuàng)新主體協(xié)同格局前提下,加大政府科技資金投入不但可以消解技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展中的資金阻滯,又有助于引導(dǎo)企業(yè)或單位技術(shù)創(chuàng)新意識,從而提高我國創(chuàng)新驅(qū)動效率,促進經(jīng)濟快速而穩(wěn)健的發(fā)展 。更多焊接工藝問題可留言或者電話咨詢。